規格與說明
在半導體、顯示器、二次電池等先進產業中,異物污染是造成良率損失的主要原因之一。以半導體製程為例,單一製程每年因污染造成的損失甚至超過數百億韓元,因此業界持續朝「零污染」目標努力。
然而傳統清潔技術有其極限:對於小於 9μm 的微細粒子,這些粒子常被表面的靜電力與空氣層包覆屏蔽,難以有效去除,長期以來一直是業界的難題。
本公司代理韓國 To-in Tech 原廠獨家的離子脈衝空氣(Ion Pulse Air)乾式清潔系統,正是為了解決這個問題而生。此技術已導入國際大廠量產產線,並被業界高度評價為獨特的清潔方案;原廠並持續開發次世代高波長離子脈衝空氣系統,以滿足客戶對精密製程良率不斷提升的需求。